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光掩膜是刻有微電路的高精度版，由表面純平并帶有一層鉻的石英板或玻璃板制作而成，蝕刻后的殘留鉻部分即為設(shè)計的微電圖。這種制版方式在掩膜行業(yè)稱為光透。